摘要: 通過自制的鋁電解電容器模型,利用氧化鋁薄膜具有的介電性能,通過電容量法可以準(zhǔn)確快捷地計(jì)算氧化膜的厚度,并通過顯微直接觀察法、電解電量法、伏安法進(jìn)行了驗(yàn)證。得到如下結(jié)論:所用鋁條樣品天然氧化膜的厚度約為8.0 nm;在H3PO4溶液中形成的氧化膜厚度隨氧化時(shí)間變化為50~80 nm;阻檔層生成率1.219。
關(guān)鍵詞: 電子技術(shù);陽極氧化鋁;氧化膜;介電性能;厚度
中圖分類號(hào): O646.6 文獻(xiàn)標(biāo)識(shí)碼:A 文章編號(hào):1001-2028(2005)12-0064-03
Studies on Testing Measures of the Thickness on Anodized
Alumina Thin Film
LI Dong-dong, ZHU Xu-fei, MENG Da-wei, XIAO Ying-hong
(1. Collega of Materials Science and Engineering,
Key words: electronic technology; anodic aluminum oxide (AAO);oxide film;dielectric property;thickness